Aktuální vydání

celé číslo

06

2022

Vodohospodářství, energetika a využití obnovitelných zdrojů energie

IIoT, vestavné a průmyslové počítače a edge computing

celé číslo

Nové centrum pro nanoelektroniku

číslo 11/2006

Nové centrum pro nanoelektroniku

Dne 31. května 2005 bylo v Drážďanech slavnostně otevřeno Fraunhoferovo centrum pro nanoelektronické technologie CNT (Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien), které představuje nový modelový způsob efektivního propojení výzkumu a výroby. Stalo se tak jen devět měsíců od okamžiku, kdy v srpnu 2004 podepsali hlavní partneři – Fraunhoferova společnost, firmy Infineon Technologies AG a Advanced Micro Device Inc. (AMD), zástupci spolkového ministerstva pro vzdělání a výzkum a představitelé spolkové země Sasko dohodu o vybudování technologického centra v souladu s evropskou iniciativou ENIAC (European Nanoelectric Initiative Advisory Council), cílenou na podporu rozvoje nanoelektroniky. Stejně jako obdobná centra v Belgii a ve Francii bude CNT spolupracovat přímo s průmyslem polovodičů. Vybudováno bylo nákladem asi 700 milionů eur, z nichž třetina pochází ze spolkového a zemského rozpočtu a z podpory EU a zbytek do projektu vložily průmyslové podniky. V příštích pěti letech přispějí spolkový a zemský rozpočet a EU ještě na technologické vybavení budovy celkovou částkou 80 milionů eur. Partneři z průmyslu plánují v této době realizovat výzkumné projekty v objemu 170 milionů eur, dotované z veřejných rozpočtů a z EU částkou až 85 milionů eur. Smlouva o vybudování CNT předpokládá pětiletou náběhovou fázi, na jejímž konci po společném vyhodnocení, zejména z hlediska obchodních úspěchů, partneři rozhodnou o dalším postupu.

Středisko pro nanoelektronické technologie je umístěno ve výrobním areálu firmy Infineon Technologies AG ve dvou budovách obsahujících mj. ultračisté výrobní prostory s plochou 800 m2. Tyto podmínky umožní pracovníkům CNT, z nichž bude více než 100 vývojových a výrobních inženýrů z partnerských firem, vědeckých pracovníků Fraunhoferovy společnosti a odborníků z blízké technické univerzity, rychle a efektivně vyvíjet nové technologické procesy a přímo je transformovat do výrobního prostředí a tak maximálně využívat synergii mezi výzkumem, vývojem a chodem technologických procesů. Drážďany, město se zavedenou výrobou paměťových čipů DRAM na křemíkových substrátech s průměrem 300 mm ve firmě Infineon Technologies a s dvěma výrobními závody na výrobu mikroprocesorů AMD, nabízejí pro výzkum v oboru nanoelektroniky vynikající podmínky. Fraunhoferova společnost vloží do společného projektu především odbornost svých ústavů v oblasti materiálů a vrstev, základních procesů, montážních a spojovacích technik, metod návrhu a litografie.

Řízením CNT je pověřen zkušený Dr. Peter Kücher, který v rámci svých bohatých pracovních aktivit vyvinul společně s odborníky firem IBM a Toshiba první paměťový čip s kapacitou 256 MB na bázi technologie 250 nm, v Drážďanech řídil první výrobní linku na světě pro hromadné zpracování křemíkových substrátů s průměrem 300 mm a jako obchodní ředitel firmy Infineon Technologies GmbH byl zodpovědný za vybudování jejího obchodního úseku.

Stěžejním úkolem CNT je vytvořit klíčové postupy pro výrobu paměťových prvků a mikroprocesorů špičkových parametrů se strukturou zmenšenou až k hranici 50 nanometrů a rychle je zavést do výroby. Dr. Kücher přitom v křemíkové technologii vidí stále ještě velký potenciál a je přesvědčen, že s novými poznatky na poli litografie bude možné překonat dosavadní překážky na cestě ke zmenšení polovodičových struktur. Velké naděje vkládá do imersní litografie, dosud používané v mikroskopii a nyní objevené pro sériovou výrobou polovodičových čipů, která se zdroji světla s vlnovou délkou 193 nm umožňuje již nyní vyrábět polovodičové struktury s krokem 90 nanometrů. Jeho krédem je rozpracovat všechna řešení v několika alternativách, protože z technických možností se prosadí jenom to, co lze hospodárně vyrobit.

Spolková ministryně pro vzdělání a výzkum E. Bulmahnová při příležitosti otevření CNT zdůraznila, že jde o investici do budoucnosti podporovanou státem i průmyslem, ze které budou mít prospěch nejenom lidé z Drážďan, ale z celého Německa. Jako společné zařízení průmyslových podniků a vědy má CNT rozhodující význam pro budoucnost Drážďan jako významného střediska rozvoje polovodičových technologií v EU. V současné době se mezi odbornou veřejnosti sice ještě mluví o mikroelektronice, ale na její místo nastoupí již zítra nanoelektronika.
[Fraunhofer Magazin, č. 3/2005.]

Kab.